国家层面：

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 半导体器材》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 电子元件》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 电子终端产品》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为70mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范平板显示器、电真空及光电子器材》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。

2015年环保部印发《电子工业污染物排放规范》(征求意见稿)规则非甲烷总烃最高答应排放浓度为100mg/m3，特别排放限值是80mg/m3，没有触及TVOCs。

2018年环保部印发《电子工业污染物排放规范》(二次征求意见稿)规则非甲烷总烃最高答应排放浓度为100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。

当地层面：

北京市《大气污染物综合排放规范》(DB11/501-2007)中规则半导体及电子产品制作VOCs的限值现有企业为50mg/m3，新建企业为20mg/m3。

天津市《工业企业挥发性有机化合物排放操控规范》(DB12/524-2014)。规则电子工业VOCs最高答应排放浓度为80mg/m3。

上海市《半导体职业污染物排放规范》(DB31/374-2006)。规则VOCs最高答应排放浓度为100mg/m3。

2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放规范》(征求意见稿)。规则VOCs最高答应排放浓度为30mg/m3

2017年广东省《电子设备制作业挥发性有机化合物排放规范》(征求意见稿)。规则VOCs最高答应排放浓度为40mg/m3

2018年江苏省《半导体职业污染物排放规范》(征求意见稿)。规则非甲烷总烃最高答应排放浓度为60mg/m3。

2018年北京市《电子工业大气污染物排放规范》(征求意见稿)。规则非甲烷总烃最高答应排放浓度为20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。